| ID du document (ISN) | 61606 |
| Numéro CIS |
94-291 |
| ISSN - Titre de série |
1047-322X - Applied Occupational and Environmental Hygiene |
| Année |
1992 |
| Numéro de convention ou de série |
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| Auteur(s) |
Wendt N.C., Mosovsky J.A., Varadi L. |
| Titre
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Essais d'aspirateurs d'aérosols particulaires à filtres au charbon haut rendement pour l'élimination de gaz et de vapeurs utilisés dans la production de semi-conducteurs |
| Titre original |
High-efficiency particulate air/charcoal filtered vacuum cleaner challenge tests with semiconductor gases and vapors [en anglais] |
| Informations bibliographiques |
juil. 1992, vol.7, n°7, p.425-433. Illus. 7 réf. |
| Résumé
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Les aspirateurs à filtre haut rendement pour aérosols particulaires (HEPA) sont utilisés depuis des années pour l'élimination des particules toxiques. Equipés de charbon actif imprégné, ils sont également employés pour l'adsorption de vapeurs toxiques telles que les vapeurs de mercure. Les essais décrits avaient pour objet de déterminer un certain nombre de paramètres liés à l'utilisation d'un charbon actif imprégné spécial pour l'élimination de vapeurs et de gaz servant à la fabrication de semi-conducteurs, de l'air rejeté par un aspirateur de série à filtre HEPA modifié. Les résultats des essais ont servi à déterminer l'efficacité de l'aspirateur et à étudier les dégagements de gaz et la désorption sous forme de vapeurs des matières jugées présentes lors des entretiens périodiques du matériel de fabrication des semi-conducteurs. Un tel modèle modifié d'aspirateur peut se révéler efficace pour le lavage de certaines émissions liées à la fabrication de semi-conducteurs et peut améliorer la sécurité au cours des travaux d'entretien. |
| Descripteurs (primaires) |
semiconducteurs; nettoyage; gaz toxiques; substances toxiques |
| Descripteurs (secondaires) |
épuration de l'air; charbon de bois; essais du matériel; rendement de captage; rendement de désorption; entretien |
| Type de document |
D - Articles de périodiques |
| Pays / Etat ou Province | USA |
| Sujet(s) |
Substances toxiques et dangereuses
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| Domaine(s) thématique(s)
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Risques chimiques
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| Catégorie(s) de recherche
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Nettoyage
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